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理濤氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

更新時間：2024-08-07　點擊量：339

理濤氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀理濤氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

LT-BS003氣相沉積薄膜與基體附著力劃痕試驗儀

根據壓頭上自動連續增加的垂直載荷，測定劃透薄膜并使之從其基體上連續剝離所需要的最小載荷，即薄膜–基體界面附著失效的臨界載荷 L C 。

測定 L C 的自動劃痕試驗機的結構原理如圖1所示。該儀器由下列主要部件組成： A—壓頭連續加載電機； B—聲發射探頭，探測劃痕產生的聲發射強度并輸入微機； C—洛氏硬度計標準壓頭； D—試樣臺； E—位移電機，用以勻速沿水平方向拖動試樣臺； F—切向摩擦力傳感器，連續檢測壓頭與薄膜之間的摩擦力并輸入微機； G—試樣臺高度升降螺桿； H—加載壓力傳感器； I—光學顯微鏡(≥40×)； J—信號放大器； K—變換控制器； L—微型計算機（嵌入式工業電腦），用以實施測試自控和自動處理數據，并動態顯示及存貯數據與圖形； M—試樣； N—CRT 顯示器； O—繪圖打印機，輸出試驗結果； P—壓頭加載機構； Q—主支架。